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首要，是炉体。离子渗氮炉的炉体分冷壁和热壁两类。冷壁炉是指炉壁为夹层，并通水冷却，经过离子轰击方式加热的炉子。热壁炉是指除离子轰击方式的加热外，在炉内还另设有加热器材，能够与离子轰击一起对工件预热或加热。热壁炉有利于进步加热速度和炉温的均匀性，缩短初期的“打弧”时刻。离子渗氮炉的运用温度一般在650℃以下，大多选用冷壁炉。
其次，是真空体系。主要由密封的炉体、真空橡胶管、蝶阀和真空泵组成。密封的炉体经过真空橡胶管、真空蝶阀与真空泵相连。作业时由真空泵将作业室抽成低真空状况，由真空蝶阀操控抽气速率。真空泵一般有两台，一台功率大的，一台功率小的，预抽真空时两台一起作业，正常渗氮时只开一台功率小的即可。
最终，是冷却体系。为避免炉体温度过高，需要在炉体夹层中通入冷却水。冷却水应由炉底、炉壁、炉盖自下而上衔接，依据炉体温度操控水流量。
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